Keunggulan utamanya terletak pada sistem isolasi getaran aktif yang menetralkan dampak getaran lingkungan di laboratorium, dipadukan dengan sondir berlian jari-jari 0,5μm dan resolusi vertikal 0,001μm untuk mencapai pengukuran profil presisi skala nano. Alat ini menggunakan dasar granit dan rangka aluminium alloy untuk memastikan stabilitas struktural, dan dilengkapi dengan perangkat lunak metrologi 3D profesional untuk mendukung rekonstruksi topografi 3D dan analisis toleransi geometris terperinci. Alat ini mendukung transmisi data berkecepatan tinggi IEEE1394 dan USB3.1, menyelesaikan titik sakit industri pengukuran akurat benda kerja skala nano, dan sepenuhnya memenuhi standar inspeksi optik internasional ISO 10110 untuk memenuhi kebutuhan penelitian ilmiah tingkat tinggi dan inspeksi tingkat militer.
Parameter detail: berat bersih 25kg, ukuran keseluruhan 600mm×500mm×350mm; dasar granit memastikan stabilitas struktural, sistem isolasi getaran aktif menghilangkan gangguan getaran lingkungan dalam rentang ±5μm; langkah pengukuran sumbu X/Y 50mm×50mm, langkah sumbu Z 20mm; akurasi pengukuran mencapai ±0,005μm, resolusi vertikal 0,001μm; menggunakan sondir uji berlian alami R=0,5μm, mendukung deteksi kekasaran skala nano, profil dan ketinggian langkah; dilengkapi antarmuka data berkecepatan tinggi IEEE1394 dan USB3.1, kecepatan transmisi hingga 10Gbps; dilengkapi perangkat lunak metrologi 3D profesional, mendukung visualisasi topografi 3D, analisis toleransi geometris GD&T dan pembuatan laporan perbandingan data; lingkungan kerja memerlukan suhu 20±0,5℃, kelembapan relatif 30%-60% RH, perlu digunakan dengan catu daya stabil.
Dapat digunakan untuk inspeksi profil 3D perangkat MEMS, verifikasi akurasi masker litografi semikonduktor, pengukuran ketebalan lapisan nano, inspeksi kekasaran skala nano lensa optik, inspeksi toleransi geometris suku cadang presisi tingkat militer, eksperimen penelitian nanoteknologi universitas dan skenario lainnya. Sebagai peralatan inspeksi presisi tingkat laboratorium, alat ini menyediakan data pengukuran skala nano yang akurat untuk bidang manufaktur dan penelitian tingkat tinggi, membantu perusahaan mengendalikan kualitas produksi produk presisi teratas dan mempromosikan penelitian dan pengembangan serta optimasi proses manufaktur skala nano.
Post RFQ
Chat
Semua Kategori